Precitec local:
Select Language:
Search
Semiconductor industry
Applications > Optical measuring technology > Semiconductor industry

Inline quality control of wafers

Applications in the semiconductor industry require a lateral resolution in the micrometer range and high-resolution in the sub-micrometer range. The sensors measure the gauge of wafers, determine semiconductor structures in screen manufacturing, check bonding during inline quality control. Moreover, they measure transparent coatings, determine paint thickness and monitor mechanical and chemical removal process in real time for quality control. CHRocodile sensors measure reliably in both acid baths and ultra-high vacuum.

Anwendungen
CHRocodile 2 IT 產品系列
非接觸式晶圓測量
來自CHRocodile IT產品系列的感測器提供了晶片和太陽能電池非常簡單且高度精確的距離和層厚測量。這些光學感測器只需一個測量頭就可以測量厚度小於1公釐的矽。一直到邊緣區域的精確厚度測量對於達成最高品質是非常重要的。CRocodile IT系列藉由一個特別小的測量點來確保這個結果。但CHRocodile IT 系列感測器所能做到的遠不止於此:砷化鎵晶片的測量,非透明的金屬薄膜和多層系統。堅固耐用的簡單構造使其可以直接整合在生產流程中。這些設備也適用於實驗室內低成本、高精度的層厚測量。

 

 

CHRocodile CLS
不許碰觸: 非接觸式測量
對於要測量或分析的半導體晶片表面,需要收集足夠解析度的3D數據,以允許檢查其表面上的電路結構或幾何形狀。現今的晶片科技需要在軸向上有奈米尺度的解析度,並且在橫向方向上需要幾微米尺度的解析度。不用說,在測量過程中不應該碰到脆弱零件,所以唯一的選擇是以非接觸模式進行測量。屢見不鮮的是,半導體分析通常需要從包含最細微結構的巨大表面範圍裡擷取高密度的3D數據。使用傳統的彩色共焦感測器,這可能是一個非常耗時的業務,類似於用傳統畫筆繪製1平方公里的面積。與僅使用一個測量點的傳統感測器相比,新的色彩共焦線型感測器有192的測量點同時描出物件的表面輪廓,在5.2x10-3(1/192)的時間裡。

 

 

© 2019 Precitec Group