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Interferometrie an Seifenblasen

간섭 측정법

초정밀 두께 및 거리 측정

간섭 측정법의 작동 원리

간섭계는 경로 길이가 약간 다른 동일한 광원의 두 개 이상의 빔이 중첩될 때 발생하는 효과를 활용합니다.

결과적 스펙트럼과 그 변조 주파수는 시스템이 적용되는 측정 작업에 따라 거리 또는 층 두께 데이터를 포함합니다.

스펙트럼의 푸리에 변환을 계산하면 최대 70 kHz의 속도에서 측정 값을 결정할 수 있습니다. 간섭 측정법은 측정 정확도가 물체까지의 거리에 좌우되지 않기 때문에 넓은 면적 측정에 이상적입니다.

 

간섭 측정 센서의 장점

  • 최대 70 kHz의 고속 인라인 검사
  • 열, 습기 또는 진동에 민감하지 않아 물, 기름 또는 산 등의 액체와 같이 혹독한 산업 환경에도 적합
  • 품질 보증, 표면 및 두께 측정에 적합
  • 다층 합판 유리를 측정할 수 있는 유일한 광학 기술
  • 0.6 - 15,000 µm의 초정밀 두께 측정
  • 모든 적외선 투과 재료의 두께 측정(예: 웨이퍼 검사 공정 시)
  • 정적 또는 움직이는 측정 지점
  • 패시브 광학 프로브 – 소형/패시브 작동, 마모 및 파손 없음

간섭 측정 센서의 이점을 누릴 수 있는 방법에 대한 자세한 내용은 제품 상세 페이지를 참조하십시오.

간섭 측정 센서

CHRocodile 2 IT

  • 초고속
  • 넓은 측정 범위
  • 다양한 표면에서 가능한 탁월한 측정
  • 고객의 요구를 충족시킬 수 있는 프로브

CHRocodile 2 K

  • 플라스틱 벽 두께 측정
  • 정밀한 결과
  • 소형 디자인
  • 고객의 요구를 충족시킬 수 있는 프로브

Flying Spot Scanner

  • X-Y 모션 시스템 대체
  • 모든 종류의 재료에 대해 고객 고유의 스캔 경로 설정
  • 시간 및 비용 절감

광학 측정의 추가 기술