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How It Works
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測定原理

CHRocodile センサーは、高速で形状及び厚さを計測するのにいく
つかの独特な技術が採用されています。色収差及び干渉波による
手法は、ほとんど全ての面を測定するのに使用されます。
様々な白色光と赤外光源による計測によって、材料の測定範囲を
広げるのに有効です。
下記、弊社の様々な計測方法を紹介致します。

色収差原理による形状測定

白色光源は、表面を照射するのに使用されます。CHRocodile コントロールユニットから光学プローブまでのファイバーを経由した光の焦点域は、左記グラフのように可視光の全使用波長域に拡がります。反射光の波長から、形状距離を正確に、66000 回/秒のサンプリングレートで取得可能です。光学プローブは、測定レンジまたはスペクトラムの焦点深度を決定します。プローブの高い開口数及びセンサのダイナミックレンジの為、ほとんどの材料を測定できます。

  • ハロゲン、Xenon または LED の光源を選択可
  • 高サンプリングレート 66kHz
  • 数ナノメータから 25 mmまでの測定プローブを用意
  • 測定面に対しての角度許容度 最大 45 度
  • 高分解能(X、Y 軸) 1um 以下
  • 測定可能材料例:ガラス、鉄、革、紙、液体など
  • 表面形状及び厚さを統合的に測定可能
  • 多チャンネルにも対応(10ch まで)

色収差原理による厚み測定

白色光源から照射された光が反射して、2 つの距離を測定します。材料の光学的な性質に基づき、測定サンプルの厚さは決定します。この測定方法は光で行われますので、機械的な振動や外部的な条件で左右されにくいです。白色光源を使用しており光を透過することで安定します。光学プローブは広い角度(45°)まで対応しており、光の反射条件がよくない粗い表面でも測定が可能です。サンプルの厚さの値を 2 つの距離からその差分で厚みを測定するため、同時に複合的なパラメータを取得することが可能です。これらの値のいくつかは、表面の形状(粗さなど)を測定可能です。

  • ハロゲン、Xenon または LED の光源を選択可
  • 厚さ測定範囲 20um から 37mm
  • 温度の影響を受けにくい
  • 高サンプリングレート 66kHz
  • 光源は、ハロゲン、Xenon、LED から選択可
  • 他のセンサと統合してインラインの導入が容易
  • 多チャンネルにも対応(10ch まで)
  • 対象製品、CHRocodile S, 2S, SE, 2 SE, E, LR, M4

 

 

干渉法による透過膜フィルムの測定

色収差と同じ白色光を使用しますが、薄膜フィルム計測用に分光計が最適化しておりま
す。薄膜フィルム(2μm から 250μm)の表面に光があたると、干渉波が反射してきます。
この信号をフーリエ変換することで、最高 66kHz のサンプリングレートで多層厚さを測定
する事が可能です。この測定技術は、濡れていても乾燥している物質でも適用でき、流体
でも薄膜フィルムでも、エアーギャップ(空気層)も測定可能です。

  • ハロゲン、Xenon または LED の光源を選択可
  • 透明または半透明の材料を測定可能
  • 測定範囲 2μm から 250μm
  • 温度の影響を受けにくい
  • 高サンプリングレート 66kHz
  • 他のセンサと統合してインラインの 導入が容易
  • 多チャンネルにも対応(4ch まで)
  • フィルムの端など、全域測定可
  • 小さなスポット径(高分解能)
  • 対象製品、CHRocodile S, 2S, SE, 2SE, E, LR, M4

干渉法による赤外透過膜の測定

赤外の光源及び分光計を使用すると、シリコンウェハーのように視覚的に不透明な材料が測定
されることが可能です。2 つ以上の表面から反射する光から干渉波によって、測定サンプルの
厚さを測定できます。もし測定サンプルが多層の材料で構成されている場合、合計の厚さと同
様に、それぞれ各層の膜の厚さも測定できます。光学プローブは、電子部品や駆動部品を搭載
していないので、環境が悪い(酸や高湿度)インラインの用途でも安定して測定可能です。

  • 多種の SLD から光源を選択可
  • 測定レンジ 4μm から 15mm(ウェハー換算)
  • Independent of color and temperature 温度の影響を受けにくい
  • 高サンプリングレート 70kHz
  • 表面が荒いウェハーや、ドープウェハー、非常に薄いウェハーの測定なども測定可
  • 小さいスポット径(13μm)
  • 他のセンサと統合してインラインの導入が容易
  • 多チャンネルにも対応(5ch まで)
  • 対象製品、CHRocodile IT, 2 IT, TW, DW, LR

不透明材料の両面厚さ計測

多用途に使用できる色収差方式は、ほぼ全ての形状を測定することが可能です。2 つのプローブを同期させて、鉄または不透明ウェハーのような、ほぼ不透明な材質の厚さを測定する事が可能です。

  • ハロゲン、Xenon または LED の光源を選択可
  •  測定厚さの制限なし
  •  温度の影響を受けにくい
  •  高サンプリングレート 66kHz
  •  形状及び厚さの同時測定
  •  小さいスポット径
  •  他のセンサと統合してインラインの導入が容易
  •  トリガー及びエンコーダ入力
  •  多チャンネルにも対応(10ch まで)
  •  対象製品、CHRocodile S, 2S, SE, 2SE, E,LR, M4
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