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光起電力
用途 > 光学測定技術 > 光起電力

要求の高い生産プロセスを掌握

 弊社独自の開発によるCHRocodileセンサーは、微細測定点での干渉測定ならびに色彩測定方法をベースとしています。 ソラーガラスあるいはウェーハーに係わらず、センサーはエッジにいたるまで厚みを的確に測定します。 形状パラメータの確定、触手でのトポグラフィー、厚みと切断溝の同時測定、あるいはエッチングプロセス中でのリアルタイムの厚み測定 - これらすべては弊社のセンサーによって簡単に解決可能な測定課題です。 その堅牢な構造によって、簡単に生産プロセスへ直接統合させることが可能です。

用途
CHRocodile MI5
ソラーセルウェーハーをインラインで無接触に測定

高いタクト率での最高の生産品質 - モジュール式光学センサー CHRocodile MI5はそのように設計されています。 それは、設定の多様化によって、例えばソラーウェーハー生産プロセスでの層厚や表面構造等のパラメーターの並行設定が可能なためです。 このセンサーは、ウェーハーおよびソラーセルをインラインで無接触に、そして一方向から精密に測定することができます。 このセンサーは、生産プロセスへ簡単に組み込み可能です。 このセンサーはその上、酸や塩基で化学処理されている場合でも測定可能です。 数マイクロメーターの小さな測定点を通して、ウェーハーの境界領域を把握することもできます。  測定データはリアルタイムでセンサーから最高 4kHzで出力されます。

To the Product
CHRocodile S / SE
ソラーセル上のフィンガー高

ソラーセルに対する品質の要求が高まると同時に、ソラーセルの製造コスト削減が市場競争をより一層左右するようになっています。 例えば導電路の浮出し高やジオメトリの測定は、不良品削減および製品品質保全に関して決定的な意味を持ちます。
光学センサー CHRocodile SEはその特出したダイナミック特性により、様々な強度で反射する表面上でも導電路のトポグラフィーを精密に測定する理想の工具であり、生産プロセス内で直接あるいはラボ条件下でも使用することができます。  
各種のインターフェースを通じたデータエクスポート機能による測定結果の立体描写は、生産プロセスの品質を正確に描写することができ、それによってプロセスパラメーターの補正を迅速に行うことができます。

To the Product
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