微加工
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在微加工中,需要具有精密轴的机械和热稳定的机器设备。微米范围内的精度与10微米的切口是当今最先进的技术。 典型应用包括切割晶格结构,如医疗行业的支架,或用于钟表工业和精密工程的由优质不锈钢,有色金属和陶瓷制成的最小微机械部件。切割头必须适合于使用固态激光器的连续波操作以及超短脉冲范围内的各种倍频激光波长。 最小的光斑直径需要衍射极限光学设计,具有最精细的调节可能性和相应的光学定位辅助以及集成的相机技术。

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