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CHRocodile MI5


CHRocodile MI5

Der modulare optische Sensor CHRocodile MI5 arbeitet mit Infrarotlicht und eignet sich perfekt für die berührungslose Dickenmessung auch visuell nicht transparenter Materialien von einer Seite. Er wurde speziell für den industriellen Inline-Einsatz mit bis zu 5 Kanälen in einem 19“ Einschub konzipiert. Die verschiedenen Versionen garantieren die optimal passende Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen. Wafer in allen Bearbeitungsstadien können in einem Dickenbereich von 10 µm - 1000 µm präzise offline und inline gemessen werden. 

  • großer Schichtdickenmessbereich
  • polierte und raue Oberflächen
  • visuell transparente und nicht transparente Materialien
  • Messung von einer Seite
  • Inline und Offline
  • hohe laterale Auflösung
  • Distanzmessung (optional)
  • einfache Integration
  • beschädigungsfreies Messen
  • robust
  • automatische Lichtregelung
  • großes Messabstandstoleranzband
  • Messungen/Sekunde: 4000 
  • Interferomterischer Messbereich:
  •  CHRocodile IT 500: 37 µm - 4700 µm; CHRocodile IT 1000: 64 µm - 8200 µm; 
     CHRocodile IT 500 RW: 45 µm - 5600 µm; CHRocodile IT 1000 RW: 57 µm – 7300 µm
  • Auflösung: 10-7 x obere Messbereichsgrenze
  • Reproduzierbarkeit: 10-4 x obere Messbereichsgrenze
  • Synchronisierung mit externen Geräten: pro Kanal: Triggereingang, Synchronisationsausgang, 3 Encodereingänge
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