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CHRocodile LR


CHRocodile LR

Der bewährte optische Sensor CHRocodile LR eignet sich perfekt für die berührungslose Messung von Topografie und Schichtdicke. Der Sensor implementiert zwei unterschiedliche Messverfahren und ermöglicht dadurch Dickenmessungen von 30 µm bis 1200 µm und Distanzmessungen mit einer lateralen Auflösung im Submikrometerbereich. Die starke Lichtquelle und die außergewöhnlich hohe Dynamik sorgen für beste Messergebnisse mit ausgezeichnetem Signal/Rauschverhältnis auch auf unterschiedlich stark reflektierenden und stark geneigten Oberflächen.

  • Distanz und Schichtdicke
  • besonders hohe laterale Auflösung
  • Messen auf allen Oberflächen
  • Inline und Offline
  • einfache Integration
  • beschädigungsfreies Messen
  • robust
  • automatische Lichtregelung
  • Pilotlaser
  • Messungen/Sekunden: 4000 (chromatisch und interferometrisch)
  • Interferometrischer Messbereich: 16 µm - 2000 µm;
  • chromatischer Messbereich: richtet sich nach dem verwendeten Messkopf
  • Auflösung: 10-7 x obere Messbereichsgrenze
  • Reproduzierbarkeit: 10-4 x obere Messbereichsgrenze
  • Synchronisierung mit externen Geräten: Triggereingang, Synchronisationsausgang, 3 Encodereingänge
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