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CHRocodile IT TW


CHRocodile IT TW

Der optische Sensor CHRocodile IT TW arbeitet mit Infrarotlicht und wurde speziell für die berührungslose Dickenmessung dünner Wafer optimiert. Weitere Anwendungsbereiche sind die Dickenmessung von visuell opaken, wie auch transparenten Kunststofffolien. Das interferometrische Messverfahren ermöglicht eine hochaufgelöste und robuste Messung von einer Seite. Die außergewöhnlich hohe Dynamik und das ausgezeichnete Signal/Rauschverhältnis der CHRocodile Sensoren sorgen für beste Messergebnisse. 

  • dünne Wafer
  • transparente und opake Kunststofffolien
  • Messung von einer Seite
  • Inline und Offline
  • hohe laterale Auflösung
  • einfache Integration
  • beschädigungsfreies Messen
  • robust
  • großes Messabstandstoleranzband
  • Messungen/Sekunde: 4000
  • Interferometrischer Messbereich: 4 µm - 300 µm
  • Auflösung: 10-7 x obere Messbereichsgrenze
  • Reproduzierbarkeit: 10-4 x obere Messbereichsgrenze
  • Synchronisierung mit externen Geräten: Triggereingang, Synchronisationsausgang, 3 Encodereingänge
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