- für undotierte / hochdotierte Wafer
- Kunststoffe
- Messung von einer Seite
- Inline und Offline
- hohe laterale Auflösung
- Distanzmessung (optional)
- einfache Integration
- beschädigungsfreies Messen
- robust
- Pilotlaser
- automatische Lichtregelung
- großes Messabstandstoleranzband
CHRocodile DW
Der optische Sensor CHRocodile DW arbeitet mit Infrarotlicht und wurde speziell für die berührungslose Dickenmessung hochdotierter Wafer optimiert. Weitere Anwendungsbereiche sind die Dickenmessung von visuell opaken, wie auch transparenten Kunststoffen. Das interferometrische Messverfahren ermöglicht eine hochaufgelöste und robuste Messung von einer Seite. Die außergewöhnlich hohe Dynamik und das ausgezeichnete Signal/Rauschverhältnis sorgen für beste Messergebnisse.
- Messungen/Sekunde: 4000
- Interferometrischer Messbereich: 15 μm - 2000 μm
- Auflösung: 10-7 x max. Messbereich (23 Bit)
- Reproduzierbarkeit: 10-4 x max. Messbereich
- Synchronisierung mit externen Geräten: Triggereingang, Synchronisationsausgang, 3 Encodereingänge

