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CHRocodile DW


CHRocodile DW

Der optische Sensor CHRocodile DW arbeitet mit Infrarotlicht und wurde speziell für die berührungslose Dickenmessung hochdotierter Wafer optimiert. Weitere Anwendungsbereiche sind die Dickenmessung von visuell opaken, wie auch transparenten Kunststoffen. Das interferometrische Messverfahren ermöglicht eine hochaufgelöste und robuste Messung von einer Seite. Die außergewöhnlich hohe Dynamik und das ausgezeichnete Signal/Rauschverhältnis sorgen für beste Messergebnisse.

  • für undotierte / hochdotierte Wafer 
  • Kunststoffe
  • Messung von einer Seite
  • Inline und Offline
  • hohe laterale Auflösung
  • Distanzmessung (optional)
  • einfache Integration
  • beschädigungsfreies Messen
  • robust
  • Pilotlaser
  • automatische Lichtregelung
  • großes Messabstandstoleranzband
  • Messungen/Sekunde: 4000
  • Interferometrischer Messbereich: 15 μm - 2000 μm
  • Auflösung: 10-7 x obere Messbereichsgrenze
  • Reproduzierbarkeit: 10-4 x obere Messbereichsgrenze
  • Synchronisierung mit externen Geräten: Triggereingang, Synchronisationsausgang, 3 Encodereingänge
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