Der Linsenbruchsensor dient der Erkennung von Beschädigungen der Linse sowie größeren Spritzern. Dadurch können weiterführende Schäden und die ggf. durch die Zerstörung der Linse verursachte Verschmutzung der Bearbeitungsanlage vermieden werden. Vor allem eine schlagartige, lokale Beschädigung der Linse kann durch den Linsenbruchsensor erkannt werden.