CHRocodile IT TW

Einsatzgebiete: Schichtdickenmessung von dünnen Wafern

Das CHRocodile IT TW von Precitec Optronik misst zerstörungsfrei die Schichtdicke von dünnen Wafern. Der Sensor ist in der Lage, berührungslos von nur einer Seite Silizium sehr exakt ab einer Dicke von 1 µm zu vermessen.

Ein weiterer Anwendungsschwerpunkt ist die Bestimmung der Dicke des Bondinginterfaces (Kleber/Folie) zwischen zwei Wafern.

Das CHRocodile IT TW ist einfach und robust aufgebaut. Es verfügt über serielle und analoge Anschlussmöglichkeiten und kann direkt in den Produktionsprozess integriert werden.

Sensoreigenschaften:

• Hohe Messrate: 4 kHz
• nm Auflösung
• z-Höhenauflösung: 1 nm
• Laterale Auflösung: 6,5 µm
• Si-Dicke von 1 µm bis 70 µm
• Messen auch von GaAs
• Transparente Schichten von 3,5 µm bis 250 µm
• Robuster Messkopf ohne Elektronik und Lichtquelle

Weitere Informationen:

• Infoblatt

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