Optische Sensoren zur Vermessung von
Si- u. GaAs-Schichten, Solarzellen, Semi- u. Solarwafern


CHRocodile IT

  • Dicken-Messung von nur einer Seite im Durchlichtverfahren
  • hoher Messabstand
  • hohe Genauigkeit: bis zu 70 nm (bei Silizium)



CHRocodile MI5

  • Modulares Sensorsystem mit bis zu 5 Kanälen im industrietauglichen 19" Rack
  • Dicken-Messung von nur einer Seite
  • hoher Messabstand
  • hohe Genauigkeit: bis zu 70 nm (bei Silizium)

Optische Sensoren zur Vermessung von
Distanz-, Topografie- und Schichtdickenmessung


CHRocodile E

  • oberflächenunabhängige Messung (flüssige, weiche, harte, spiegelnde, matte & streuende Materialien)
  • 4.000 Messungen / Sekunde
  • hohe Dynamik bei Oberflächen mit wechselnder Reflektivität u./o. Neigung



CHRocodile S

  • exzellentes Preis-/Leistungsverhältnis
  • langlebige LED Lichtquelle
  • automatische Lichtregelung bei Oberflächen mit wechselnder Reflektivität u./o. Neigung



CHRocodile M4

  • Modulares Sensorsystem mit bis zu 4 Kanälen im industrietauglichen 19" Rack
  • 4.000 Messungen / Sekunde
  • Entwickelt speziell für die Glasindustrie



CHRocodile M10

  • Mehrkanal-Sensor mit bis zu 10 synchronisierten Kanälen
  • Maximal 15.000 Messungen / Sekunde (abhängig von genutzter Kanalzahl)
  • Besonders geeignet zur inline Dicken-Messung von nichttransparenten Materialien (Papier, Metallbänder etc.)

CHRocodile X

  • High-End Sensor mit heller Xenon-Kurzbogenlampe
  • hohe Messrate: 14.000 Messungen / Sekunde
  • sehr gut geeignet zur schnellen Topografie-Messung auf großen Flächen

CHRocodile LR

  • zur hochaufgelösten Vermessung von sehr fein strukturierten Oberflächen
  • besonders hohe laterale Auflösung (bis zu 0,7 µm)
  • 4.000 Messungen / Sekunde

Ihre Vorteile
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Anwendungsbeispiel Prozessüberwachung
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