Optischer 5 Kanal Sensor: Wafer und Solarzellen berührungslos vermessen

Der CHRocodile MI5 ist die neue modulare 5-Kanalversion des im Halbleiterbereich mittlerweile sehr bewährten CHRocodile IT Sensors. Er bietet eine einfache und gleichzeitig hochgenaue Abstands- und Schichtdickenmessung von Wafern und Solarzellen, an bis zu fünf unterschiedlichen Messstellen. Mit nur einem einzigen Messkopf pro Kanal ist er in der Lage, berührungslos Silizium sehr exakt zu vermessen. Die Schichtdicken anderer Infrarotlicht-transparenten Materialien, wie z.B. von GaAs, kann er ebenfalls erfassen.

Hintergrund dieses neuen, zerstörungsfreien Messverfahrens ist ein interferometrisch arbeitender Sensor, der das zu vermessende Material von nur einer Seite mit Infrarotlicht durchleuchtet. Der CHRocodile MI5 kann durch seinen robusten und einfachen Aufbau direkt in den Produktionsprozess integriert werden. Eine mögliche Anwendung ist z.B. die Inline-Dickenmessung von vorbeifahrenden Silizium Wafern

Weitere Informationen:

• CHRocodile MI5 - Optischer 5 Kanal Sensor
• Datenblatt (Optische Messköpfe und Sensoren)
• Solarzellen-Wafer auf Förderband berührungslos vermessen
• CHRocodile Treiber für Windows

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