Mit Licht messen
Chromatisches Prinzip
Der Sensor nutzt die chromatische Längsabberation einer Spezialoptik. Aufgrund der Unabhängigkeit des Messprinzips von den Oberflächeneigenschaften der Messproben wie Reflektivität, Farbe und Textur, können die unterschiedlichsten Materialien vermessen werden. Das koaxiale Messprinzip ist unempfindlich gegenüber Abschattung, so dass auch Strukturen mit großen Aspektenverhältnissen vermessen werden können. Der Messbereich ist durch die Wahl des entsprechenden Sensorkopfes bestimmt und reicht von wenigen Mikrometern bis zu mehreren Millimetern. Der kompakte Messkopf arbeitet ohne bewegliche Komponenten und ist über flexible Lichtwellenleiter mit der Auswerteeinheit verbunden. Dies ermöglicht den Betrieb des Sensors unter schwierigen Umgebungsbedingungen, wie z.B. elektromagnetischen Feldern im Vakuum oder in explosionsgefährdeten Bereichen. Durch die hohe effektive Messrate und die gute Integrierbarkeit eignet sich der Sensor bestens für Topografiemessgeräte und für den Inline-Einsatz.
Weitere Informationen:
Weisslichtinterferometrie
Neben dem chromatischen Messverfahren nutzt der Sensor Weißlichtinterferometrie zur Dickenmessung transparenter Schichten mit einer optischen Dicke von bis zu 250 µm. Dabei ist auch die simultane Dickenmessung von transparenten Schichten in Mehrschichtsystemen möglich, wie sie bei Folien oder Klebeschichten vorkomm.
Weitere Informationen:
Impressum | Datenschutz | Nutzungsbedingungen | Sitemap
