Neues Messsystem CHRocodile IT erfasst die Silizium-Dicke mit nur einem Sensor
Eine sehr einfache und gleichzeitig hochgenaue Schichtdickenmessung von Wafern und Chips bietet jetzt das neue CHRocodile
IT von Precitec Optronik. Es ist in der Lage, berührungslos mit nur einer Messstelle Silizium zu durchleuchten und exakt Wafer
bis zu einer Dicke von 1 mm zu vermessen.
Hintergrund dieses neuen, zerstörungsfreien Messverfahrens ist ein interferometrisch arbeitender Sensor, der nicht, wie üblich, mit Weißlicht sondern mit Infrarotlicht arbeitet. Vorteil: eine Messstelle mit sehr hellem Licht ermöglicht bei gleichen Bedingungen bis zu 5-mal höhere Messgeschwindigkeiten und einen zehnmal höheren Messbereich (bis 3,5 mm Luftspalt) gegenüber dem Weißlichtverfahren. Dabei kann die Messeinrichtung durch ihren robusten und einfachen Aufbau direkt in den Waferproduktionsprozess integriert werden. Natürlich bietet sich das CHRocodile IT auch zur kostengünstigen und gleichzeitig hochpräzisen Schichtdickenmessung im Labor an.
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