Fehlern auf die Spur kommen

Die Halbleiter- und Elektroindustrie legt hohe Qualitätsmaßstäbe an. Daher profitieren Sie von der hohen Präzision der CHRocodile - Sensoren mit einer lateralen Auflösung im Mikrometerbereich und einer Höhenauflösung im Submikrometerbereich. Typische Anwendungsgebiete sind:

• Schichtdickenmessung von Wafern und Solarzellen mit dem CHRocodile IT
• Vermessen von Halbleiterstrukturen, Maskenherstellung
• Qualitätssicherung beim Überprüfen des Bondings (Anschlussdrahtlänge usw.)
• Vermessen transparenter Coatings
• Bestimmung von Lackdicken (bspw. Fotolack oder Dämpfungsschicht auf Ics)

Weitere Informationen:

• Neues Messsystem CHRocodile IT erfasst die Silizium- Dicke mit nur einem Sensor
• Applikationsbeispiel: Berührungsloses Vermessen von Solarzellen und Wafern