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Industrie des semi-conducteurs Prod.recom.

Dépistage des erreurs

 Les applications de l'industrie des semi-conducteurs nécessitent une résolution latérale dans la plage micrométrique et une résolution en hauteur dans la plage submicronique. Pour le contrôle de la qualité, nos capteurs mesurent par exemple les épaisseurs de couche des tranches, définissent les structures des semi-conducteurs dans la production de masques, vérifient les connexions, mesurent les revêtements transparents, déterminent les épaisseurs de peinture et contrôlent les processus de décapage mécaniques et chimiques en temps réel. Les capteurs CHRocodile peuvent même être utilisés dans l'ultravide.

Produits recommandés
Gamme de produits CHRocodile IT
CHRocodile IT
  • grande plage de mesure d'épaisseur de couche
  • surfaces polies et rugueuses
  • en ligne et hors ligne
CHRocodile DW
CHRocodile DW
  • tranches non dopées/fortement dopées
  • en ligne et hors ligne
  • mesure d'un côté
  • résolution latérale élevée
Voir le produit
CHRocodile CLS
CHRocodile CLS
  • high speed
  • instantaneous profile measurement
  • interchangeable optical probes
  • inline inspection
  • distance and thickness
  • maintenance free and robust
  • easy to integrate
  • nondestructive measurement
CHRocodile IT TW
CHRocodile IT TW
  • thin wafer
  • transparent and opaque plastic films
  • measurements from one side
  • inline and offline
  • high lateral resolution
  • maintenance-free & robust
  • simple to integrate
  • nondestructive measurement
  • wide measuring distance tolerance range
CHRocodile LR
CHRocodile LR
  • distance and layer gauge
  • especially high lateral resolution
  • measuring on all surfaces
  • inline and offline
  • simple integration
  • damage-free measurement
  • solid
  • automatic light control
  • pilot laser
CHRocodile MI5
CHRocodile MI5
  • grande plage de mesure d'épaisseur de couche
  • surfaces polies et rugueuses
  • en ligne et hors ligne
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