Anwendungen

Anspruchsvolle Produktionsprozesse im Griff

 Die speziell entwickelten CHRocodile-Sensoren basieren auf interferometrischen und chromatischen Messverfahren mit kleinstem Messpunkt. Gleich ob Solarglas oder Wafer, sie messen exakt die Dicke und Oberflächenstrukturen bis in den Randbereich. Die Bestimmung von Formparametern, die Topografie der Kontaktfinger, die gleichzeitige Vermessung von Dicke und Sägerillen oder die Dickenmessung in Echtzeit während des Ätzprozesses - das alles sind gut lösbare Messaufgaben. Ihr robuster Aufbau erlaubt die einfache Integration direkt in den Produktionsprozess.

 

Anwendungen
CHRocodile MI5
Solarzellen-Wafer inline berührungslos vermessen

Höchste Fertigungsqualität bei hohen Taktraten - dafür steht der modulare optische Sensor CHRocodile MI5. Denn die flexiblen Konfigurationsmöglichkeiten erlauben die parallele Bestimmung von Parametern wie beispielsweise Dicke und Oberflächenstruktur beim Produktionsprozess von Solarwafern. Er ist in der Lage inline, berührungslos und von einer Seite Wafer und Solarzellen exakt zu vermessen. Der Sensor kann leicht in den Produktionsprozess integriert werden. Es kann sogar beim chemischen Ätzen in Säure oder Lauge gemessen werden. Durch den kleinen Messfleck von wenigen Mikrometern können auch die Randbereiche der Wafer erfasst werden. Die Messdaten werden in Echtzeit vom Sensor mit bis zu 4kHz ausgegeben.

CHRocodile S / SE
Fingerhöhen auf Solarzellen

Mehr denn je bestimmt Kostendruck den Wettbewerb bei der Produktion von Solarzellen, bei gleichzeitig steigenden Qualitätsanforderungen. So stellen beispielsweise die Vermessung von Fingerhöhe und Geometrie der Leiterbahnen entscheidende Maßnahmen zur Vermeidung von Ausschuss und Sicherung der Produktqualität dar.
Der optische Sensor CHRocodile SE ist aufgrund seiner hohen Dynamik das ideale Werkzeug, um auch bei unterschiedlich reflektierenden Oberflächen die Leiterbahnen topographisch hochgenau zu vermessen – direkt im Produktionsprozess, aber auch unter Laborbedingungen.  
Die dreidimensionale Darstellung der Messergebnisse in Verbindung mit dem Datenexport über verschiedene Schnittstellen liefert ein exaktes Bild von der Qualität des Produktionsprozesses und ermöglicht damit eine sofortige Korrektur der Prozessparameter.

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