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Inline Qualitätskontrolle von Wafern

 Anwendungen in der Halbleiterindustrie erfordern eine laterale Auflösung im Mikrometerbereich und eine Höhenauflösung im Submikrometerbereich. In der Inline Qualitätskontrolle messen die Sensoren die Dicke von Wafern, bestimmen Halbleiterstrukturen in der Maskenherstellung und überprüfen Bondings. Außerdem vermessen sie transparente Coatings, bestimmen Lackdicken und überwachen mechanische und chemische Abtragprozesse in Echtzeit. Die CHRocodile-Sensoren messen zuverlässig sowohl im Säurebad als auch im Ultrahochvakuum.

 

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CHRocodile CLS
Halbleiter-Topographien ermitteln

Will man Oberflächen von Halbleiterchips (Wafer) messen oder untersuchen, müssen 3D-Daten mit einer Auflösung gewonnen werden, die eine Untersuchung von Strukturen und Geometrien der Schaltkreise auf der Oberfläche ermöglicht. Liniensensoren von Precitec messen im Gegensatz zu Punktsensoren viele dicht nebeneinander liegende Punkte gleichzeitig, so dass der Messkopf in gleicher Zeit eine viel größere Fläche überstreichen kann als mit Einzelpunkten. Die aktuelle Sensorgeneration arbeitet mit 192 Messpunkten, die je nach Messkopf auf einer Linie von 1 mm bis annähernd 5 mm angeordnet sind. Die chromatisch-konfokale Sensoren eignen sich besonders für die polierten und häufig spiegelnden Oberflächen von Wafern. Die vom Sensor gelieferten Rohdaten werden je nach Einsatz verwendeter Software zur Erkennung regelmäßiger Muster und Strukturen für 2D- und 3D-Bilder aufbereitet.

Produkt Familie CHRocodile IT
Wafer berührungslos vermessen

Eine sehr einfache und gleichzeitig hochgenaue Abstands- und Schichtdickenmessung von Wafern und Solarzellen bieten die Sensoren der Produktfamilie  CHRocodile IT. Diese optischen Sensoren sind in der Lage, berührungslos mit nur einem Messkopf Silizium bis zu einer Dicke von 1 mm zu vermessen. Die exakte Bestimmung der Dicke bis in Randbereiche hinein ist von großer Bedeutung für höchste Produktqualität. CHRocodile IT garantiert dies durch einen besonders kleinen Messpunkt. Aber die Sensoren der CHRocodile IT Familie können noch mehr: Vermessung von GaAs Wafern, visuell nicht transparenter Folien und Mehrschichtsystemen. Ihr robuster und einfacher Aufbau ermöglicht die direkte Einbindung in den Produktionsprozess. Natürlich bieten sich die  Geräte auch für die kostengünstige und gleichzeitig hochpräzise Schichtdickenmessung im Labor an.

CHRocodile DW
Dickenmessung hochdotierter Wafer

Ausschuss ist teuer. Deshalb sollte die Form- und Dickenmessung von Wafern mit größter Präzision erfolgen. Bei dieser Anwendung, speziell auch bei hochdotierten Wafern, hat sich der Sensor CHRocodile DW bestens bewährt. Er ist in der Lage, berührungslos mit nur einem Messkopf hochdotiertes Silizium sehr exakt bis zu einer Dicke von 500 µm zu vermessen. Der robuste und einfache Aufbau des Sensors ermöglicht die direkte Einbindung in den Produktionsprozess. Die angebotenen Standardschnittstellen ermöglichen ein Feedback in die Produktionslinie, um eventuellen Ausschuss in einem möglichst frühen Stadium zu verhindern.

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